ローダ・アンローダ・バッファ・コンベア・ストッカ等 基板供給／自動搬送装置の開発・製造販売

コンベア式中間バッファ
PBUC-45

コンベアを複数段重ねたタイプの基板バッファ装置です。プッシャを用いないので基板にストレスをかけません。

• 10段のコンベアがリフタで上下し基板をバッファします。
• 装置外形寸法が小さくコンパクトです。
• 基板をラックへ押し込むプッシャ機構が無く基板を無理にラックへ押し込む力がかかりません。従って、薄い基板もプッシャによる破損の心配がありません。
• 従来の中間バッファに比べ収納タクトが早く、先入れ先出しにて収納、搬出を行います。
• タッチパネル表示にて、基板の収納状況が確認できます。