ttl_buffer

PBUC-45コンベア式中間バッファ
PBUC-45

(特許取得済)

タクトタイムの異なる工程間で基板をバッファする装置です。基板収納部の各段がそれぞれコンベアになっています。収納に押し込みプッシャを使用しませんので基板にストレスをかけません。装置もコンパクトです。

 

PB-M1-32N中間バッファ
PB-M1-32N

タクトの異なる装置間で、一時的に基板をバッファする装置です。バッファモードの他に、ローダモード・アンローダモード・パスモードがある多機能モデルです。

nowprinting冷却バッファ
P0

中間バッファに冷却ファンを取り付けたモデルです。炉の下流に設置することで熱くなった基板を冷却することができます。