ローダ・アンローダ・バッファ・コンベア・ストッカ等 基板供給／自動搬送装置の開発・製造販売

コンベア式中間バッファ
PBUC-45

（特許取得済）

タクトタイムの異なる工程間で基板をバッファする装置です。基板収納部の各段がそれぞれコンベアになっています。収納に押し込みプッシャを使用しませんので基板にストレスをかけません。装置もコンパクトです。

中間バッファ
PB-M1-32N

タクトの異なる装置間で、一時的に基板をバッファする装置です。バッファモードの他に、ローダモード・アンローダモード・パスモードがある多機能モデルです。

冷却バッファ
PBUC-45FBS

中間バッファに冷却ファンを取り付けたモデルです。炉の下流に設置することで熱くなった基板を冷却することができます。