ローダ・アンローダ・バッファ・コンベア・ストッカ等 基板供給／自動搬送装置の開発・製造販売

冷却バッファ
P-0

中間バッファに冷却ファンを取り付けたモデルです。
炉の下流に設置することで熱くなった基板を冷却することができます。